氮化硅微粉制备技术Fabrication Technique of Si3N4 Fine Powder
陈宏;穆柏春;郑黎明;
摘要(Abstract):
就国内外氮化硅粉末合成的研究情况,按照气相合成法、液相合成法和固相合成法的分类,综述了硅粉直接氮化法、碳热还原二氧化硅法、自蔓延法、热分解法、溶胶凝胶(sol-gel)法、高温气相反应法、激光气相反应法和等离子体气相反应法等几种主要的氮化硅粉末制备方法,介绍了各种制备方法的最新研究进展,并从产品质量、成本和生产规模等角度分析比较了各种制备方法的特点,指出了制备氮化硅粉末的主要发展方向。
关键词(KeyWords): 氮化硅;微粉;制备;技术
基金项目(Foundation):
作者(Authors): 陈宏;穆柏春;郑黎明;
参考文献(References):
- [1]陈力.氮化硅陶瓷材料的研究现状及其应用[J].硬质合金,2002,19(4):226-229.
- [2]王华,戴永年.氮化硅及其微粉的制备[J].耐火材料,1996,30(2):113-115.
- [3]李亚伟,张忻,田海兵,等.硅粉直接氮化反应合成氮化硅研究[J].硅酸盐通报,2003(1):30-34.
- [4]李虹,黄莉萍,蒋薪,等.碳热还原法制备氮化硅粉体的反应过程分析[J].无机材料学报,1996,11(2):241-246.
- [5]徐协文.自蔓延法制备氮化硅粉时的氮气压力[J].中南工业大学学报,2003,34(1):58-62.
- [6]徐协文,钱端芬,谢建国,等.低氮气压下燃烧合成氮化硅粉[J].陶瓷工程,1999,33(4):4-9.
- [7]王声宏,张英才.自蔓延高温合成氮化硅的研究[J].粉末冶金工业,2004,14(5):1.
- [8]邓宗武,张克,袁正,等.SiCl4氨解法制备高纯度的Si3N4粉的研究[J].无机材料学报,1995,10(1):37-42.
- [9]黄政仁.SiC和Si3N4纳米陶瓷粉体制备技术[J].硅酸盐学报,1996,24(5):570-577.
- [10]White D A,Oleff S M,Robert D B.Preparation of SiC from organosilicon gels[J].Adv Ceram Mater,1987,2(1):45.
- [11]Hatakryama F,Kanzaki S.Synthesis of monodispersed sphericalβ-SiC powder by a sol-gel process[J].J Am Ceram Soc,1990,73(7):2107.
- [12]高纪明,肖汉宁,杜海清,等.纳米Si3N4-SiC(Y2O3)复合粉末的氨解溶胶-凝胶法合成[J].硅酸盐学报,1998,26(5):586-591.
- [13]高纪明,肖汉宁,刘东明,等.溶胶-凝胶法制备纳米Si3N4(Y2O3)粉末的研究[J].无机材料导报,1997,12(4):499—455.
- [14]刘德启.利用木质素-二氧化硅溶胶-凝胶合成纳米Si3N4的研究[J].材料导报,2000,14(11):57-58.
- [15]李晔,刘艳生,王全玉,等.G-G法合成氮化硅粉末及晶须的性能研究[J].化学通报,1995(4):24-27.
- [16]Chen L,Goto T,Hirai T.Preparation of SiC-W2C nano-composite powders by chemical vapor deposition of the SiH4-CH4-WF6-H2 system[J].J Mater Sci,1993(28):5543.
- [17]左都罗,李道火.非晶氮化硅纳米粒子的制备及粒子限制效应[J].无机材料学报,1994,9(3):352.
- [18]李亚利,梁勇.纳米非晶Si3N4粉的晶化及粒子长大行为研究[J].无机材料学报,1994,9(3):293.
- [19]Wang T,Zhang L,Mo C.A study on grow th and crystallization behavior of nanostructure amorphase silicon nitride[J].Nanostru Mater,1994;4(2):207.
- [20]隋同波,王廷籍.激光法合成SiC粉物理化学过程的研究——Ⅰ实验规律及粉末特性[J].硅酸盐学报,1993,21(1):33.
- [21]Cauchetier M,Croix O,Luce M.Nanometer Si/C/N composite powders——laser synthes is and IR characterization[J].J Euro Ceram Soc,1991(8):215.
- [22]Cauchetier M,Croix O,Nathalie N.Nanocom posites Si/C/N powder production by laster aerosol interaction[J].J Am Ceram Soc,1994;77(4):993.
- [23]Lihrmann J-M.Amodel for the formatiom of nanosized SiC powders by laster induced gas phase reaction[J].J Euro Ceram Soc,1994(13):41.
- [24]王卫乡.激光CVD纳米氮化硅的制备工艺研究[J].应用激光,1995,15(3):97-100.
- [25]陈磊,王锐.激光诱导六甲基乙硅胺烷制备纳米粉体[J].光电子技术与信息,2005,18(3):10-13.
- [26]王锐.双光束激励制备纳米氮化硅粉体[J].硅酸盐学报,2004,32(11):1425-1429.
- [27]Shull R D.View point—Nanocrystalline and nanophase materials[J].Nanostru Mater,1993(2):213.
- [28]Lee H J,Eguchi K,Yoshida T,etal.Preparation of ultrafine silicon nitride and silicon carbide mixed powers in a hybrid plasma[J].J Am Ceram Soc,1990,73(11):3356.
- [29]Vissokov G P.Chemical preparation of ultrafine aluminium nitride by electric arc plasma[J].J Mater Sci,1983,18(7):2011.
- [30]Yoshidal T,kAWASAKI a.The synthesis is of ultrafine titanium nitride in a RF plasma[J].J Mater Sci,1979,14(7):1624.
- [31]邢阳川,郑国梁.等离子体气相合成SiC超细粉的热力学计算与分析[J].化工冶金,1992,13(1):1.
- [32]Vollath D.Synthesis of nanosized ceramic nitride powder by microwave supported plasma reactions[J].Nanostru Mater,1993(2):451.
- [33]郭家银,郑国良.PCVD法制取β-SiC超细粉末[J].化工冶金,1991,12(1):1.
- [34]韩今依.高频等离子化学气相淀积制备氮化硅超细粒子[J].化工进展,1995(5):29-33.